金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸半导体硅外延片项目 环境影响评价公告
发布时间：2022-02-11 05:57
一、建设项目情基本情况
（1）项目名称：年产180万片12英寸半导体硅外延片项目
（2）建设地点：衢州绿色产业集聚区盘龙南路
（3）行业类别：C3985 电子专用材料制造
（4）建设规模：项目拟投资230,233万元。本项目通过新征土地建设专用厂房及配套动力实施，利用公司已掌握的成熟的12寸硅片成套技术和产能基础，购置外延炉、几何参数测试仪等国际先进设备，形成新增年产180万片12英寸半导体硅外延片的生产能力。
二、环境影响评价范围内主要敏感目标分布情况
本项目主要保护对象情况见表1。
表1 评价范围内主要敏感目标分布情况
名称 | 方 位 | 距厂界 最近距离 | 规模 | 敏感性 | 保护级别 | |
行政村 | 自然村 | |||||
野鸭垅村 | 杨梅岗村 | W | ~1470m | ~800人 | 一般 | (GB3095-2012)二级 |
野鸭垅村 | SW | ~1330m | 一般 | |||
上西垄 | SW | ~360m | 敏感 | |||
旺村村 | 横屋 | NW | ~1240m | ~910人 | 一般 | |
下西垄 | N | ~515m | 一般 | |||
山底叶 | NNE | ~1225m | 一般 | |||
旺村 | N | ~1340m | 一般 | |||
毛家村 | 毛家 | NE | ~1110m | ~1510人 | 一般 | |
下蒋 | W | ~1075m | 一般 | |||
东方村 | 横山殿 | SE | ~1140m | ~1600人 | 一般 | |
胡家村 | SE | ~2400m | 一般 | |||
东安坂 | SSE | ~1830m | 一般 | |||
下墅街 | SE | ~1700m | 一般 | |||
清水村 | 清水村 | S | ~1820m | ~2670人 | 一般 | |
徐坦坂 | SSE | ~1270m | 一般 | |||
三、主要环境影响预测情况
（1）废气
项目废气因子主要为NOx、粉尘、HCl、氟化物、NH3等。根据预测，在正常工况下，该项目废气经废气处理设施处理后对周围大气环境影响不大，能达到功能区类别要求。
（2）废水
落实本次环评提出的措施后，本项目废水排放能做到达标纳管，对周围水环境影响不大。当出现事故性排放时，事故排放的废水接入事故排放池，待污水处理设施恢复正常后，重新处理达标处理。因此，事故排放时本项目排放的废水对衢州市城东污水处理厂基本无影响。
（3）噪声
该项目噪声主要为设备运行时产生的噪声等，其噪声源强在80~85dB之间，项目噪声对厂界噪声的贡献值较小，仍可以维持现状，即满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准，对周围环境影响不大。
（4）固废
本项目产生的固废主要为废硅片、废包装材料、废水处理污泥、实验室废液及生活垃圾等。项目危废委托有相应处置资质的资质单位处置，其余固废均采取了相应的处置措施，对环境影响不大。
四、拟采取的主要环保措施、环境风险防范措施以及预期效果
本项目拟采取的主要环保措施及预期效果见表2。
表2 污染治理措施汇总表
分类 | 措施名称 | 主要内容 | 预期治理效果 |
废水 | 废水收集、清污分流措施 | 雨污分流、清污分流、污污分流；收集采用架空管道或明沟明管。 | 纳管：废水纳管执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1标准； 排环境：执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中一级A标准 |
废水处理系统 | 项目废水采用分质处理思路，废酸废水经中和、反硝化处理后进入生化系统处理；酸碱废水中含氟废水经活性氧化铝吸收处理后与其他酸碱废水一起经三级pH调整处理；有机废水采用混凝沉淀+水解酸化+接触氧化处理后纳管。 | ||
废气 | 废气收集系统 | 采用废气管道等措施进行收集 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中新改扩污染源二级标准；《恶臭污染物排放标准》(GB14554-1993)二级标准 |
酸性废气处理装置 | 新建碱液吸收装置处理后高空排放。 | ||
碱性废气处理装置 | 新建酸液吸收装置处理后高空排放。 | ||
外延炉废气处理装置 | 外延炉自带尾气吸收装置，经处理后高空排放。 | ||
噪声 | 隔声、消声、减振等措施 | 执行GB12348-2008中3类标准 | |
固废 | 分类收集处置 | 固废暂存，外运等措施 | 资源化、无害化、减量化 |
其他 | 事故应急措施 | 设事故应急池 | 加强环境应急能力的建设，降低事故发生可能性 |
绿化等 | / | ||
五、环境影响评价结论的要点
本项目选址于衢州智造新城，符合衢州市三线一单分区管控方案相关要求，并符合衢州市总体规划、绿色产业集聚区规划及其规划环评要求。
本项目采用的生产工艺和装备技术以及资源能源利用水平等均符合清洁生产要求；落实各项污染防治措施后污染物均能稳定达标排放；新增污染物总量经区域调剂解决；根据预测，本项目实施后污染物排放对周围环境及敏感点影响贡献不大，环境质量可以维持在现有等级。
建设单位应切实落实各项污染治理措施，加强环保管理，确保污染物稳定达标排放，将项目对周边环境的影响降至最低。从环保角度而言，项目在选定厂址内实施是可行的。
六、征求意见范围、对象和期限
主要为评价范围5km×5km（拟建地为中心，主导风向为主轴）区域内的公众。公众对建设项目有环境保护意见的，可向建设单位或环评单位提出，并留下姓名、联系方式、联系地址。
公众提出意见的起止时间：2022年02月14日～2022年02月25日（10个工作日）。
七、公众意见反馈途径
公众可通过电话、信函等形式将意见反馈，也可直接拜访建设单位或环评单位的联系人，当面反馈意见。
建设单位：金瑞泓微电子（衢州）有限公司 陈辉/18957827172
地址：衢州绿色产业集聚区盘龙南路 邮编：324000
环评单位：杭州一达环保技术咨询服务有限公司 电话：18248648048
地点：杭州市环城北路169号汇金国际A604 邮编：310004
环评审批单位：衢州市生态环境局智造新城分局 电话：0570-3888422
公告发布单位：金瑞泓微电子（衢州）有限公司（盖章）
公示时间：2022年02月14日～2022年02月25日
浙公网安备33019202002675号